| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Потылкин, А. Н. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2025-06-11T06:47:52Z | - |
| dc.date.available | 2025-06-11T06:47:52Z | - |
| dc.date.issued | 2025 | - |
| dc.identifier.citation | Потылкин, А. Н. Формирование плёнок оксида цинка ионно-лучевым распылением оксидной и металлической мишеней = Formation of zinc oxide film by ion-ray spraying with oxide and metal targets / А. Н. Потылкин // Электронные системы и технологии : сборник материалов 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 21–25 апреля 2025 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2025. – С. 205–208. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60123 | - |
| dc.description.abstract | Экспериментально исследовано различие свойств и особенностей формирования диэлектрических слоев оксида цинка, полученных ионно-лучевым распылением оксидной и металлической мишеней. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | коэффициент преломления | en_US |
| dc.subject | оксид цинка | en_US |
| dc.subject | тонкопленочные покрытия | en_US |
| dc.title | Формирование плёнок оксида цинка ионно-лучевым распылением оксидной и металлической мишеней | en_US |
| dc.title.alternative | Formation of zinc oxide film by ion-ray spraying with oxide and metal targets | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| local.description.annotation | Experimentally investigated the difference of properties and features of formation of dielectric layers of zinc oxide obtained by ion-ray spraying of oxide and metal targets. | en_US |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 61-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2025)
|
