Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60236
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorТумилович, В. В.-
dc.coverage.spatialМинскen_US
dc.date.accessioned2025-06-16T06:39:45Z-
dc.date.available2025-06-16T06:39:45Z-
dc.date.issued2025-
dc.identifier.citationТумилович, В. В. Возникновение дефектов при изготовлении фотошаблонов = Occurrence of defects the production of masks / В. В. Тумилович // Электронные системы и технологии : сборник материалов 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 21–25 апреля 2025 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2025. – С. 66–69.en_US
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60236-
dc.description.abstractВ статье анализируются ключевые этапы процесса производства фотошаблонов, в ходе которых возникают дефекты. Описаны основные виды дефектов и возможные причины их возникновения. Рассматривается метод исправления дефектов с использованием лазера. Также указаны недостатки лазерного метода при коррекции элементов топологического рисунка фотошаблонов.en_US
dc.language.isoruen_US
dc.publisherБГУИРen_US
dc.subjectматериалы конференцийen_US
dc.subjectмикроэлектроникаen_US
dc.subjectфотошаблоныen_US
dc.subjectдефектыen_US
dc.subjectлитографияen_US
dc.subjectлазерные технологииen_US
dc.titleВозникновение дефектов при изготовлении фотошаблоновen_US
dc.title.alternativeOccurrence of defects the production of masksen_US
dc.typeArticleen_US
local.description.annotationThe article analyzes the key stages of the photomask production process, during which defects occur. It describes the main types of defects and possible causes of their occurrence. The method of correcting defects using a laser is discussed. The drawbacks of the laser method for correcting elements of the photomask's topological pattern are also noted. Additionally, the article highlights the importance of minimizing defects at the design and production stages to achieve a quality result.en_US
Appears in Collections:Электронные системы и технологии : материалы 61-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2025)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Tumilovich_Vozniknovenie.pdf811.36 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.