DC Field | Value | Language |
dc.contributor.author | Яворчук, Г. В. | - |
dc.contributor.author | Горбунова, М. А. | - |
dc.contributor.author | Михолап, А. А. | - |
dc.contributor.author | Логунов, К. Т. | - |
dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
dc.date.accessioned | 2025-06-25T08:22:22Z | - |
dc.date.available | 2025-06-25T08:22:22Z | - |
dc.date.issued | 2025 | - |
dc.identifier.citation | Исследование влияния очистки в атмосферной плазме на оптические характеристики тонких пленок хрома / Г. В. Яворчук, М. А. Горбунова, А. А. Михолап, К. Т. Логунов // Радиотехника и электроника : сборник материалов 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–23 апреля 2025 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2025. – С. 272–273. | en_US |
dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60498 | - |
dc.description.abstract | В статье рассмотрено влияние предварительной очистки в атмосферной плазме диэлектрического барьерного разряда подложек из оптического стекла К8 на оптические характеристики тонких пленок хрома, формируемых методом магнетронного распыления при постоянном токе. Установлено, что с увеличением времени очистки подложек пропускание пленок хрома толщиной 20 нм уменьшается с 36 % для образца без очистки до 30 % для образцов обработанных 30 и 60 секунд на длине волны 550 нм. Также выявлено увеличение коэффициента отражения с 32 % без очистки до максимального значения 38 % для пленки обработанной 30 секунд на длине волны 550 нм. | en_US |
dc.language.iso | ru | en_US |
dc.publisher | БГУИР | en_US |
dc.subject | материалы конференций | en_US |
dc.subject | атмосферная плазма | en_US |
dc.subject | диэлетрические барьерные разряды | en_US |
dc.subject | оптическое стекло | en_US |
dc.title | Исследование влияния очистки в атмосферной плазме на оптические характеристики тонких пленок хрома | en_US |
dc.type | Article | en_US |
Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2025)
|