Особенности формирования пористых пленок оксида ниобия электрохимическим анодированием в хлорсодержащих электролитах

Abstract

Проведено исследование процесса электрохимического анодирования ниобия в хлорсодержащих электролитах. Обнаружено, что в результате исследуемого процесса на поверхности ниобия формируется пористая пленка оксида с расстоянием между порами 0,5-1,0 мкм и диаметром пор от 50 до 100 нм. При проведении анодирования обнаружена самолокализация электрохимического процесса образования пористых участков размером до 10 мкм. Исследование состава сформированных пленок при помощи рентгеноспектрального анализа показало, что анодные пленки состоят в основном из пентаоксида ниобия (Nb2O5) с примесным углеродом. Для повышения однородности формируемых пленочных структур было предложено проводить процесс анодирования с использованием маскирующих покрытий.