Наноструктурированные пленки оксида циркония и их электрофизические свойства

Abstract

Оксид циркония находит широкое применение в электронике, медицине, автомобильной промышленности, энергетике и многих других областях человеческой деятельности. Исследовано формирование оксида циркония методом электрохимического анодирования циркониевой фольги и тонких пленок в различных электролитах. Установлено, что выбор электролита для проведения анодного процесса оказывает влияние на структуру формируемых оксидных пленок. Анализ структуры полученных пленок оксида циркония с помощью растрового электронного микроскопа показал, что при анодировании циркония в водных растворах лимонной кислоты формируется пленка оксида барьерного (беспористого) типа, а в водных растворах хлористого натрия образуется наноструктурированная пористая оксидная пленка, имеющая кораллообразную структуру с минимальными размерами оксидного «скелета» порядка 50 нм. Исследование свойств, сформированных наноструктурированных пленок оксида циркония показало, что они характеризуются супергидрофильной поверхностью (угол смачивания составляет 0º) и наличием отрицательного электретного заряда. Пленки оксида циркония с развитой внутренней поверхностью открывают новые перспективы использования исследуемого материала как в электронных изделиях, так и в биомедицинских применениях.