| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Роговский, Е. П. | - |
| dc.contributor.author | Котов, Д. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-08-08T10:56:12Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-19T09:38:56Z | - |
| dc.date.available | 2014-08-08T10:56:12Z | |
| dc.date.available | 2017-07-19T09:38:56Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Роговский, Е. П. Разрядные характеристики ионно-лучевого источника с анодным слоем // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ–БГУИР (Минск, 18–19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2 / редкол. : А. Н. Осипов [и др.]. – Минск : БГУИР, 2014. - C. 95-96 | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-038-5 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/617 | - |
| dc.description.abstract | Исследованы разрядные характеристики ионно-лучевого источника с анодным слоем в диапазоне напряжений разряда 1500-3500 В и расходов рабочего газа 2-7 sccm. Приведена зависимость коэффициента токовой эффективности от напряжения разряда. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | ионно-лучевой источник с анодным слоем | ru_RU |
| dc.subject | разрядные характеристики | ru_RU |
| dc.subject | коэффициент токовой эффективности | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.title | Разрядные характеристики ионно-лучевого источника с анодным слоем | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Секция «Микро- и наноэлектроника»
|
