| Title: | Лазерно-активированные фотохимические процессы формирования тонкопленочных систем микроэлектроники |
| Other Titles: | Laser-activated photochemical processes of formation of thin-film systems of microelectronics |
| Authors: | Купо, А. Н. |
| Keywords: | доклады БГУИР;лазерные фотохимические процессы;цианистые электролиты |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Купо, А. Н. Лазерно-активированные фотохимические процессы формирования тонкопленочных систем микроэлектроники = Laser-activated photochemical processes of formation of thin-film systems of microelectronics / А. Н. Купо // Доклады БГУИР. – 2025. – Т. 23, № 5. – С. 20–26. |
| Abstract: | Представлены результаты исследования лазерно-активированных процессов электрохимического осаждения функциональных тонкопленочных субмикронных токопроводящих структур с использова нием цианистых электролитов. Исследовано воздействие на цианистые электролиты лазерного излучения
с длинами волн λ = 600–200 нм, которое приводит к активной диссоциации соединений видов Ki
Me(CN)j, Mei(CN)j, KiMei(CN)j. Это способствует локальному росту градиента концентрации активных электрохимических частиц и обуславливает увеличение локальной скорости электрохимического осаждения в целом. Проанализировано влияние на указанные процессы таких параметров, как интенсивность лазерного
излучения, коэффициент поглощения лазерного излучения электролитом (эффективное сечение поглощения) и квантовый выход диссоциации, которые определяются составом электролита и селективностью лазерного воздействия. |
| Alternative abstract: | The article presents the results of a study of laser-assisted electrochemical deposition of functional thinfilm submicron conductive structures using cyanide electrolytes. The effect of laser radiation with wavelengths
of λ = 600–200 nm on cyanide electrolytes was investigated. This radiation leads to the active dissociation of compounds of the Ki
Me(CN)j, Mei(CN)j, and KiMei(CN)j types. This promotes a local increase in the concentration
gradient of active electrochemical species and causes an increase in the local rate of electrochemical deposition
as a whole. The influence of such parameters as laser radiation intensity, the absorption coefficient of laser radiation
by the electrolyte (effective absorption cross-section), and the dissociation quantum yield, which are determined
by the composition of the electrolyte and the selectivity of the laser irradiation, on these processes was analyzed. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/61977 |
| DOI: | http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-5-20-26 |
| Appears in Collections: | Том 23, № 5
|
