| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Барковская, К. Н. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2025-12-01T08:50:07Z | - |
| dc.date.available | 2025-12-01T08:50:07Z | - |
| dc.date.issued | 2025 | - |
| dc.identifier.citation | Барковская, К. Н. Компьютерное моделирование низкотемпературной безэлектродной плазмы в многокамерном СВЧ плазмотроне резонаторного типа : специальность 7-06-0713-02 «Электронные системы и технологии» : автореферат диссертации на соискание степени магистра технических наук / Барковская Кира Николаевна ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2025. – 12 с. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/62215 | - |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | en_US |
| dc.subject | микроэлектроника | en_US |
| dc.subject | полупроводниковые устройства | en_US |
| dc.subject | безэлектродная плазма | en_US |
| dc.title | Компьютерное моделирование низкотемпературной безэлектродной плазмы в многокамерном СВЧ плазмотроне резонаторного типа | en_US |
| dc.type | Thesis | en_US |
| Appears in Collections: | 7-06-0713-02 Электронные системы и технологии
|
