| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лушакова, М. С. | - |
| dc.contributor.author | Мадвейко, С. И. | - |
| dc.contributor.author | Тихон, О. И. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2026-01-06T08:33:04Z | - |
| dc.date.available | 2026-01-06T08:33:04Z | - |
| dc.date.issued | 2025 | - |
| dc.identifier.citation | Лушакова, М. С. Влияние параметров очистки в высокоплотной плазме аргона на морфологию поверхности стеклянных подложек и характеристики эмиссионного спектра = The influence of cleaning parameters in high-density argon plasma on the surface morphology of glass substrates and the characteristics of the emission spectrum / М. С. Лушакова, С. И. Мадвейко, О. И. Тихон // Доклады БГУИР. – 2025. – Т. 23, № 6. – С. 39–47. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/62610 | - |
| dc.description.abstract | Представлены результаты исследований влияния электромагнитной энергии сверхвысокочастотного диапазона на низкочастотную составляющую плазмы комбинированного (сверхвысокочастотного
и низкочастотного) разряда. Экспериментально изучены выходные электрические параметры низкочастотного генератора и оптические характеристики плазмы комбинированного разряда среднего вакуума.
Определено, что в процессе генерации разряда, сформированного при одновременном воздействии в едином разрядном объеме сверхвысокочастотных и низкочастотных полей при давлении 20–100 Па возможно
проявление эффекта контрагирования низкочастотной составляющей комбинированного разряда. Данный
эффект заключается в изменении под действием магнитного поля условий переноса тока в плазменном
слое между электродами, что приводит к уменьшению амплитуды выходного напряжения низкочастотного генератора. Установлена зависимость изменения амплитуды напряжения низкочастотного генератора
от выходной мощности источника питания сверхвысокочастотного генератора | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | доклады БГУИР | en_US |
| dc.subject | низкочастотные генераторы | en_US |
| dc.subject | комбинированные разряды | en_US |
| dc.subject | сверхвысокочастотные поля | en_US |
| dc.title | Влияние параметров очистки в высокоплотной плазме аргона на морфологию поверхности стеклянных подложек и характеристики эмиссионного спектра | en_US |
| dc.title.alternative | The influence of cleaning parameters in high-density argon plasma on the surface morphology of glass substrates and the characteristics of the emission spectrum | en_US |
| dc.identifier.DOI | http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-6-39-47 | - |
| local.description.annotation | The article presents the results of a study examining the influence of microwave electromagnetic energy
on the low-frequency component of a combined (microwave and low-frequency) discharge plasma. The output
electrical parameters of a low-frequency generator and the optical characteristics of a combined medium-vacu um discharge plasma were experimentally studied. It was determined that, during the generation of a discharge
formed by the simultaneous action of microwave and low-frequency fields in a single discharge volume at a pres sure of 20–100 Pa, a constriction effect of the low-frequency component of the combined discharge may occur.
This effect consists of a change in the current transfer conditions in the plasma layer between the electrodes under
the influence of a magnetic field, which leads to a decrease in the amplitude of the low-frequency generator output
voltage. The dependence of the change in the voltage amplitude of the low-frequency generator on the output
power of the microwave generator power source was established | en_US |
| Appears in Collections: | Том 23, № 6
|
