Композиционный состав и характер смачивания нанометровых пленок сплавов алюминия, полученных ионно-ассистированным осаждением

Abstract

В работе рассматриваются нанометровые плёнки алюминия и его бинарных сплавов с марганцем, железом и никелем, полученные методом ионно-ассистированного осаждения на стеклянные подложки. Исследование направлено на выявление закономерностей между элементным составом, морфологией поверхности и её смачиваемостью дистиллированной водой. Для анализа использованы методы сканирующей зондовой микроскопии, резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и покоящейся капли. Установлена корреляция между условиями осаждения, топографическими параметрами и гидрофильными свойствами плёнок. Особое внимание уделено влиянию субмикронной конусообразной морфологии на характеристики шероховатости и распределение высот нанорельефа. Рассмотрены механизмы гомогенного, гетерогенного и смешанного смачивания.