| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Грицкевич, Г. И. | - |
| dc.contributor.author | Пашкевич, В. Э. | - |
| dc.contributor.author | Смолкин, Ю. А. | - |
| dc.contributor.author | Жук, Р. С. | - |
| dc.contributor.author | Лешко, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Ловшенко, И. Ю. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2026-04-27T06:26:30Z | - |
| dc.date.available | 2026-04-27T06:26:30Z | - |
| dc.date.issued | 2026 | - |
| dc.identifier.citation | Разработка конфигурации системы освещения автоматических зондовых установок = Development of a lighting system configuration for automatic probe stations / Г. И. Грицкевич, В. Э. Пашкевич, Ю. А. Смолкин [и др.] // Технические средства защиты информации : материалы ХXIV Международной научно-технической конференции, Минск, 8 апреля 2026 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники [и др.] ; редкол.: О. В. Бойправ [и др.]. – Минск, 2026. – С. 367–371. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/63373 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрена проблема конструктивных решений систем освещения автоматических зондовых установок для контроля полупроводниковых пластин. Проведен сравнительный анализ методов освещения. Обоснована комбинированная
светодиодная конфигурация с кольцевой и боковой подсветкой, обеспечивающая точность и исключение термодеформации. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | полупроводниковые пластины | en_US |
| dc.subject | микроскопия | en_US |
| dc.subject | зондовые установки | en_US |
| dc.title | Разработка конфигурации системы освещения автоматических зондовых установок | en_US |
| dc.title.alternative | Development of a lighting system configuration for automatic probe stations | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| local.description.annotation | The problem of design solutions for lighting systems of automatic probe stations for semiconductor wafer inspection is considered. A comparative analysis of lighting methods is carried out. A combined LED configuration with ring and side illumination is substantiated,
ensuring accuracy and thermal stability. | en_US |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2026
|
