Формирование и структура тонкопленочных покрытий Fe–Ni и Fe–Co для экранов электромагнитного излучения

Abstract

Исследованы элементный состав и структура покрытий из сплавов систем Fe–Ni и Fe–Co, сформированных электронно-лучевым испарением. Рассчитан азеотропный состав сплава Fe–Co. Показано, что сплав, содержащий 54 мас.% (∼55 ат.%) Fe и 46 мас.% (∼45 ат.%) Co, испаряется конгруэнтно. Установлено, что при скорости осаждения на подложки из полимерных материалов покрытия из указанных сплавов 5 нм/с и более поверхностный слой этих подложек разогревается до температуры выше 100 °С. Это приводит к деструкции поверхностного слоя полимера с выделением летучих составляющих и образованию рельефной поверхности покрытия. При скоростях осаждения покрытий от 0,5 до 1,0 нм/с температура подложек не превышает 50 °С, при этом снижается шероховатость поверхности покрытия и повышается его отражающая способность. Показано, что покрытия толщиной 150 нм из сплавов Fe56Ni44 и Fe55Co45 азеотропных составов, полученных при скорости нанесения 1,0 нм/с, имеют рентгеноаморфную (сплав системы Fe–Ni) или преимущественно аморфную (сплав системы Fe–Co) структуру. Исследован элементный состав покрытий и установлено, что в сплаве Fe–Ni отклонение в сторону уменьшения содержания железа в покрытии по отношению к азеотропному составило менее 5 %, а в сплаве Fe–Co – в сторону его увеличения – 18 %.