| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Белый, Г. В. | - |
| dc.contributor.author | Лопато, У. П. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2026-06-22T06:28:33Z | - |
| dc.date.available | 2026-06-22T06:28:33Z | - |
| dc.date.issued | 2026 | - |
| dc.identifier.citation | Белый, Г. В. Формирование диэлектрических материалов на основе окисленного пористого кремния и оксида титана / Г. В. Белый, У. П. Лопато // Радиотехника и электроника : сборник материалов 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 15–16 апреля 2026 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2026. – С. 226–227. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64202 | - |
| dc.description.abstract | Показана возможность формирования диэлектрических материалов путем осаждения гидроксида титана в пористый кремний с последующим термическим окислением. Проанализированы особенности электрохимического осаждения гидроксида титана и заключено, что этот метод обеспечивает получение гидроксида титана как на поверхности, так и в каналах пор пористого кремния. Полученный в результате окисления такого материала диэлектрик представляет собой смесь оксидов кремния и титана и характеризуется увеличенным (до 1,590–1,630) показателем преломления, что делает его перспективным для создания канальных волноводов с низкими потерями в объемных микросборках электронных схем с оптическими соединениями. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | пористый кремний | en_US |
| dc.subject | оксид кремния | en_US |
| dc.subject | оксид титана | en_US |
| dc.subject | электрохимические осаждения | en_US |
| dc.subject | показатели преломления | en_US |
| dc.subject | оптические волноводы | en_US |
| dc.title | Формирование диэлектрических материалов на основе окисленного пористого кремния и оксида титана | en_US |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2026)
|
