Формирование покрытий из оксида цинка с наночастицами металлов для газовых сенсоров

Abstract

Комбинацией методов золь-гель и гидротермального осаждения на поверхности подложек монокристаллического кремния получены наноструктурированные покрытия из оксида цинка с восстановленными на их поверхности по реакции серебряного зеркала наночастицам серебра. Установлено, что оптимальной температурой для формирования гидротермальным методом массива наностержней в использованном щелочном растворе является 80 °С. Показано, что для получения равномерного слоя наночастиц металла, не образующих сплошную пленку, процесс восстановления серебра должен проводится в течение 8–15 минут. Полученные покрытия из оксида цинка с повышенной за счет наноструктурирования удельной площадью поверхности и сенсибилизированные наночастицами серебра являются перспективной основой для создания газовых сенсоров и других электронных приборов на оксидных полупроводниках.