Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64245
Title: Структура и свойства алмазоподобных углеродных покрытий, полученных плазмохимическим методом в зависимости от энергии бомбардирующих ионов
Authors: Макаров, А. М.
Леонович, Н. В.
Keywords: материалы конференций;структура покрытий;свойства покрытий;методы получения;энергия ионов;виды покрытий;физические характеристики;химические свойства
Issue Date: 2026
Publisher: БГУИР
Citation: Макаров, А. М. Структура и свойства алмазоподобных углеродных покрытий, полученных плазмохимическим методом в зависимости от энергии бомбардирующих ионов / А. М. Макаров, Н. В. Леонович // Радиотехника и электроника : сборник материалов 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 15–16 апреля 2026 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2026. – С. 228–229.
Abstract: Исследовано влияние энергии бомбардирующих ионов на структуру и свойства алмазоподобных углеродных покрытий, полученных плазмохимическим методом. Установлен оптимальный диапазон 200–250 эВ для максимальной твёрдости (28 ГПа), адгезии (>70 Н) и трибологических характеристик (μ=0,08–0,12). Получены зависимости толщины покрытий от параметров процесса осаждения.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64245
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2026)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Makarov_Struktura.pdf730.73 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.