| Title: | Исследование влияния параметров вторичных ионных пучков и потенциала диафрагмы на характеристики тонкопленочных покрытий из титана |
| Other Titles: | Study of the influence of secondary ion beam parameters and aperture potential on the characteristics of thin film titanium coatings |
| Authors: | Перепечко, Е. Ю. |
| Keywords: | материалы конференций;тонкие пленки;титан;ионные пучки;оптические характеристики;электрофизические характеристики;морфология поверхности |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Перепечко, Е. Ю. Исследование влияния параметров вторичных ионных пучков и потенциала диафрагмы на характеристики тонкопленочных покрытий из титана = Study of the influence of secondary ion beam parameters and aperture potential on the characteristics of thin film titanium coatings / Е. Ю. Перепечко // Электронные системы и технологии : сборник материалов 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 13–17 апреля 2026 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: П. В. Камлач [и др.]. – Минск, 2026. – С. 344–346. |
| Abstract: | Исследовано влияние тока вторичного ионного пучка и потенциала диафрагмы на характеристики тонкопленочных покрытий из титана, полученных осаждением из ионного пучка. Установлено, что увеличение положительного потенциала на диафрагме способствовало снижению удельного объемного сопротивления, росту температурного коэффициента сопротивления, оптического пропускания и адгезии. |
| Alternative abstract: | The influence of secondary ion beam current and aperture potential on the characteristics of thin-film titanium coatings obtained by ion beam deposition was studied. It was found that increasing the positive potential at the aperture resulted in a decrease in specific volume resistance and an increase in the temperature coefficient of resistance, optical transmittance, and adhesion. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64563 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 62-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2026)
|
