| Title: | Алгоритм фильтрации Калмана для очистки сигнала фотоэлектронных датчиков в условиях вибраций литографического оборудования |
| Other Titles: | A Кalman filtering algorithm for cleaning photoelectronic sensors signal under vibrations of lithographic equipment |
| Authors: | Ахметзянов, Г. Д. |
| Keywords: | материалы конференций;фильтрация Калмана;сглаживатели;вейвлет преобразования;фотолитография |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Ахметзянов, Г. Д. Алгоритм фильтрации Калмана для очистки сигнала фотоэлектронных датчиков в условиях вибраций литографического оборудования = A Кalman filtering algorithm for cleaning photoelectronic sensors signal under vibrations of lithographic equipment / Г. Д. Ахметзянов // Электронные системы и технологии : сборник материалов 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 13–17 апреля 2026 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: П. В. Камлач [и др.]. – Минск, 2026. – С. 375–378. |
| Abstract: | Разработан метод фильтрации и отсеивания шумов и паразитных сигналов, рассмотрены стандартный и предиктивный методы фильтрации Калмана, вейвлет преобразования, их преимущества перед традиционными методами фильтрации, а также возможности их использования в контексте фотолитографического оборудования |
| Alternative abstract: | Methods for filtering and eliminating noise and spurious signals, gradient and predictive Kalman filtering standards, wavelet transforms, their advantages over filtering methods, and the potential for their use in 10x photolithographic equipment are developed. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64722 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 62-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2026)
|
