| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Воробьева, А. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-04-15T11:44:13Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-27T12:00:23Z | - |
| dc.date.available | 2016-04-15T11:44:13Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-27T12:00:23Z | - |
| dc.date.issued | 2009 | - |
| dc.identifier.citation | Воробьева, А. И. Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления / А. И. Воробьева // Российская академия наук, Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН. – 2009 . – Т. 179, № 3. – С. 243–253. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6481 | - |
| dc.description.abstract | Рассматриваются методы формирования электродных систем к углеродным нанотрубкам, которые используются в качестве конструктивных элементов в различных устройствах наноэлектроники. Анализируются способы уменьшения удельного сопротивления электродов и контактного сопротивления в структурах металл – углеродная трубка. Обсуждаются перспективы и реальные достижения в области использования нанотрубок в качестве межуровневых контактных переходов в системах многоуровневой металлизации интегральных микросхем. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Российская академия наук | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | электродные системы | ru_RU |
| dc.subject | углеродные нанотрубки | ru_RU |
| dc.subject | контактное сопротивление | ru_RU |
| dc.subject | контактные переходы | ru_RU |
| dc.title | Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
