Наноструктурные элементы резистивно-емкостных  микрофильтров для устройств синхронизации электронной аппаратуры: отчет о НИР (заключ.)

Плиговка, А. Н.; Крупко, А. О.; Попичев, Е. Л.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Плиговка, А. Н.	-
dc.contributor.author	Крупко, А. О.	-
dc.contributor.author	Попичев, Е. Л.	-
dc.date.accessioned	2016-06-23T08:16:36Z
dc.date.accessioned	2017-07-19T12:59:26Z	-
dc.date.available	2016-06-23T08:16:36Z
dc.date.available	2017-07-19T12:59:26Z	-
dc.date.issued	2013	-
dc.identifier.citation	Наноструктурные элементы резистивно-емкостных микрофильтров для устройств синхронизации электронной аппаратуры(заключительный) : отчет о НИР / БГУИР; научный руководитель А. Н. Плиговка ; отв. исполнитель А. О. Крупко . – Минск, 2013. – 43 с. - № ГР 20120384	ru_RU
dc.identifier.govdoc	№ ГР 20120384	-
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7732	-
dc.description.abstract	Выбраны и оптимизированы режимы электросинтеза наноструктурных тонких пленок на основе двухслойной системы Al/Ta с требуемыми морфологией, толщиной и структурой. Определено влияние толщин подслоев и напряжений реанодирования на высоту и толщину оксидных островков и танталовой сетки, разработаны механизмы роста островков для разных толщин подслоя тантала.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.relation.ispartofseries	№ Т11М–138;	-
dc.subject	отчеты о НИР	ru_RU
dc.subject	анодирование	ru_RU
dc.subject	оксид алюминия	ru_RU
dc.subject	оксид тантала	ru_RU
dc.subject	способ изготовления	ru_RU
dc.subject	конденсатор	ru_RU
dc.title	Наноструктурные элементы резистивно-емкостных микрофильтров для устройств синхронизации электронной аппаратуры: отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Technical Report	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2013