Разработка и исследование композиционных тонких пленок на основе легированного оксида циркония для использования в качестве твердого электролита твердооксидных топливных элементов : отчет о НИР (заключ.)

Abstract

В работе приведено описание разработанного экспериментального комплекса для нанесения пленок твердого электролита методами ионно-лучевого и ВЧ магнетронного распыления. Представлены результаты экспериментальных исследований влияния процесса ионно-плазменного распыления на структурно-фазовые свойства нанесенных пленок. Исследованы закономерности изменения структуры, стехиометрии и фазового состава тонких пленок оксида циркония от степени легирования мишени. Установлены особенности протекания физико-химических процессов при формировании тонких пленок твердого электролита. На основе полученных данных разработаны рекомендации по реализации процессов ионноплазменного формирования тонкопленочных слоев твердого электролита.