Самоорганизация германийсодержащих нанокластеров в  процессе осаждения пленок поликристаллического кремния,  легированного германием : отчет о НИР (заключ.)

Плякин, Д. В.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Плякин, Д. В.	-
dc.date.accessioned	2016-08-24T09:04:04Z
dc.date.accessioned	2017-07-19T12:51:53Z	-
dc.date.available	2016-08-24T09:04:04Z
dc.date.available	2017-07-19T12:51:53Z	-
dc.date.issued	2012	-
dc.identifier.citation	Самоорганизация германийсодержащих нанокластеров в процессе осаждения пленок поликристаллического кремния, легированного германием ( заключительный ) : отчеты о НИР / БГУИР; научный руководитель Д. В. Плякин. – Минск, 2012. – 56 с. - № ГР 20103012	ru_RU
dc.identifier.govdoc	№ ГР 20103012	-
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8360	-
dc.description.abstract	В ходе выполнения работы был проведен анализ методов и условий получения германийсодержащих нанокластеров. Определены ключевые моменты каждого метода. Разработана методика получения германийсодержащих нанокластеров. Проведен эксперимент по осаждению пленок поликристаллического кремния (ПКК), легированного германием. Используя методы сканирующей зондовой микроскопии, проведено исследование полученных образцов.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.relation.ispartofseries	договор с БРФФИ № Т10М-118 от 1 мая 2010 г.;	-
dc.subject	отчеты о НИР	ru_RU
dc.subject	нанокластеры	ru_RU
dc.subject	германий	ru_RU
dc.subject	кремний	ru_RU
dc.subject	германосиликатное стекло	ru_RU
dc.subject	сканирующая зондовая микроскопия	ru_RU
dc.subject	пленки поликристаллического кремния	ru_RU
dc.subject	легированного германием	ru_RU
dc.subject	наноструктурированные пленки	ru_RU
dc.title	Самоорганизация германийсодержащих нанокластеров в процессе осаждения пленок поликристаллического кремния, легированного германием : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Technical Report	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2012