Skip navigation
DSpace logo
  1. Репозиторий БГУИР
  2. Авторефераты диссертаций и отчеты о НИР
  3. Отчеты о НИР
  4. Отчеты о НИР 2012
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8364
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКотов, Д. А.-
dc.contributor.authorЯсюнас, А. А.-
dc.contributor.authorРодионов, Ю. А.-
dc.contributor.authorКомар, О. М.-
dc.date.accessioned2016-08-24T09:40:26Z
dc.date.accessioned2017-07-19T12:51:45Z-
dc.date.available2016-08-24T09:40:26Z
dc.date.available2017-07-19T12:51:45Z-
dc.date.issued2012-
dc.identifier.citationРазработка источника плазмы высокой плотности на основе индуктивно-связанного разряда и постановка технологии плазмохимического травления для формирования топологии кристаллов изделий силовой электроники ( заключительный ) : отчеты о НИР / БГУИР; научный руководитель Д. А. Котов; отв. исполнитель А. А. Ясюнас. – Минск, 2012. – 24 с. - № ГР 20110251ru_RU
dc.identifier.govdoc№ ГР 20110251-
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8364-
dc.description.abstractВ работе выполнены исследования влияния конфигурации антенной системы источника индукционного разряда на параметры генерируемой плазмы. Подготовлена методика проведения эксперимента для снятия разрядных характеристик источника индукционного разряда. Выполнены исследования влияния конфигурации антенной системы источника индукционного разряда на параметры генерируемой плазмы. Рассчитан импеданс разрядной системы в зависимости от геометрии индуктора и плотности плазмы. Сняты зондовые характеристики плазмы индукционного разряда, получены зависимости плотности плазмы и температуры электронного газа от индуктивности антенной системы.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.relation.ispartofseriesГБЦ-10-1007;-
dc.subjectотчеты о НИРru_RU
dc.subjectисточник индуктивно-связанной плазмыru_RU
dc.subjectантенная системаru_RU
dc.subjectиндукционный разрядru_RU
dc.subjectплазмохимическое травлениеru_RU
dc.titleРазработка источника плазмы высокой плотности на основе индуктивно-связанного разряда и постановка технологии плазмохимического травления для формирования топологии кристаллов изделий силовой электроники : отчет о НИР (заключ.)ru_RU
dc.typeTechnical Reportru_RU
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2012

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20110251 (10-1007)_Рук_НИР_Котов.pdf
  Restricted Access		781.95 kBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.