| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Сырцев, А. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-09-21T09:11:21Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T09:31:05Z | - |
| dc.date.available | 2016-09-21T09:11:21Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T09:31:05Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.citation | Сырцев, А. С. Расчет упругих элементов МЭМС датчиков ускорения / А. С. Сырцев // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : сборник материалов 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 6–10 мая 2013 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Боднарь И. В. [и др.]. – Минск, 2013. – С. 200. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8838 | - |
| dc.description.abstract | Микроэлектромеханические системы (МЭМС) — устройства, способные преобразовывать механическую энергию в
электрические сигналы и наоборот. Применение технологий МЭМС позволило значительно уменьшить массово-
геометрические характеристики устройств, энергопотребление и стоимость. Типичные размеры элементов устройств лежат
в диапазоне от 1 до 100 микрометров. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектромеханические системы | ru_RU |
| dc.subject | МЭМС | ru_RU |
| dc.subject | датчики линейных ускорений | ru_RU |
| dc.title | Расчет упругих элементов МЭМС датчиков ускорения | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2013)
|
