| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Козак, Н. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-10-20T13:25:19Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T09:31:09Z | - |
| dc.date.available | 2016-10-20T13:25:19Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T09:31:09Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.citation | Козак, Н. В. Модификация поверхности твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе эффекта полого катода / Н. В. Козак // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : сборник материалов 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 6–10 мая 2013 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Боднарь И. В. [и др.]. – Минск, 2013. – С. 5. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9528 | - |
| dc.description.abstract | Рассматривается возможность модификации поверхностных слоев твердых тел в плазме тлеющего разряда на
основе использования эффекта полого катода. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | ионно-плазменная модификация | ru_RU |
| dc.subject | твердые тела | ru_RU |
| dc.subject | плазма тлеющего разряда | ru_RU |
| dc.subject | полые катоды | ru_RU |
| dc.title | Модификация поверхности твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе эффекта полого катода | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2013)
|
