Репозиторий БГУИР: Request a document copy

Request a document copy: Разработать технологические процессы формирования нанопористых модифицированных тонких пленок, мембран и подложек из анодного оксида алюминия для высокочувствительных химических сенсоров и гироскопических сенсоров угловых скоростей, изготавливаемых с использованием МЭМС-технологии: отчет о НИР (заключ.)