https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1674| Title: | Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин |
| Authors: | Бордусов, С. В. Мадвейко, С. И. Достанко, А. П. |
| Keywords: | материалы конференций;СВЧ разряд;СВЧ плазмохимическая обработка |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Бордусов, С. В. Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 192-193 |
| Abstract: | Представлены результаты исследований процесса СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин, который заключается в предварительном нагреве полупроводниковых пластин СВЧ энергией. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1674 |
| ISBN: | 978-985-543-038-5 |
| Appears in Collections: | Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики» |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| процесс.pdf | 377.14 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.