Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2167
| Название: | Контроль остаточных напряжений в структурах Si–SiO2 |
| Другие названия: | Control of residual stresses in structures Si–SiO2 |
| Авторы: | Зеленин, В. А. |
| Ключевые слова: | доклады БГУИР;остаточные напряжения;диоксид кремния-монокристаллическая кремниевая подложка |
| Дата публикации: | 2012 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Зеленин, В. А. Контроль остаточных напряжений в структурах Si–SiO2 / В. А. Зеленин // Доклады БГУИР. - 2012. - № 8 (70). - С. 37 - 43. |
| Аннотация: | Рассмотрены пути повышения точности контроля величины остаточных напряжений в структурах диоксид кремния-монокристаллическая кремниевая подложка. Приведены результаты определения уровня остаточных напряжений в структурах Si–SiO2. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2167 |
| Располагается в коллекциях: | №8 (70)
|
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.
