https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28415
Название: | Mechanical properties of MEMS components based on anodic aluminum oxide |
Авторы: | Biran, S. A. Korotkevich, D. A. Korotkevich, A. V. |
Ключевые слова: | материалы конференций;mechanical properties;MEMS;anodic aluminum oxide |
Дата публикации: | 2017 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Biran, S. A. Mechanical properties of MEMS components based on anodic aluminum oxide / S. Biran, D. Korotkevich, A. Korotkevich // Nano-design, technology, computer simulations : proceedings of 17th International workshop on new approaches to high –tech (26-27 October, 2017). – Minsk : BSUIR, 2017. – С. 46 - 49. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28415 |
Располагается в коллекциях: | NDTCS 2017 |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Biran_Mechanical.PDF | 362.57 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.