Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34434
Название: Определение профиля зоны эрозии магнетронной распыленой системы
Авторы: Диас, Л.
Роселина, А.
Палмера, Д.
Мигель, А.
Ключевые слова: материалы конференций
магнетронная распыленая систем
зона эрозии
Дата публикации: 2018
Издательство: БГУИР
Библиографическое описание: Определение профиля зоны эрозии магнетронной распыленой системы / Л. Диас [и др.] // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 - 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2018. - С. 148.
Краткий осмотр (реферат): Представлена математическая модель моделирования профиля эрозии в магнетронном распылении. Разработано модель основана на математическом описании функциитделится на 2 экспоненты и параболу. Для проверки предложенной модели были сделаны измерения алюминиевой мишени диаметра 100 мм и толщины 6 мм. Анализ результатов исследования показывает, что погрешность моделирования не превышает 20,0%.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34434
Располагается в коллекциях:Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Dias_Opredeleniye.PDF534,33 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.