https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34434| Title: | Определение профиля зоны эрозии магнетронной распыленой системы |
| Authors: | Диас, Л. Роселина, А. Палмера, Д. Мигель, А. |
| Keywords: | материалы конференций;магнетронная распыленая систем;зона эрозии |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Определение профиля зоны эрозии магнетронной распыленой системы / Л. Диас [и др.] // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2018. – С. 148. |
| Abstract: | Представлена математическая модель моделирования профиля эрозии в магнетронном распылении. Разработано модель основана на математическом описании функциитделится на 2 экспоненты и параболу. Для проверки предложенной модели были сделаны измерения алюминиевой мишени диаметра 100 мм и толщины 6 мм. Анализ результатов исследования показывает, что погрешность моделирования не превышает 20,0%. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34434 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Dias_Opredeleniye.PDF | 534.33 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.