Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/35043
Title: Роботизированная установка быстрой термической обработки для создания изделий электронной техники
Other Titles: Rapid thermal treatment robotics unit for creation of electronic equipment devices
Authors: Солодуха, В. А.
Saladukha, V. А.
Пилипенко, В. А.
Pilipenko, V. А.
Яковлев, В. П.
Yakovlev, V. P.
Keywords: доклады БГУИР
камера отжига
длительность импульса
кремниевая пластина
равномерность нагрева
Issue Date: 2019
Publisher: БГУИР
Citation: Солодуха, В. А. Роботизированная установка быстрой термической обработки для создания изделий электронной техники / В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. П. Яковлев // Доклады БГУИР. – 2019. – № 4 (122). – С. 92-97.
Abstract: Приведены конструктивные особенности автоматической установки быстрой термической обработки кремниевых пластин диаметром 100 мм. Для нагрева в установке используются галогенные лампы с вольфрамовой спиралью КГТ 220-2000-3 в количестве 12 штук, которые обеспечивают нагрев пластины до 1200 о С со скоростью набора температуры 10–150 о С/с в течение 0,1−600 с. Предусмотрен процесс отжига как в вакууме, так и в различных газовых средах. Производительность установки с учетом загрузки пластины, создания вакуума в камере, напуска в камеру требуемого газа, термообработки по заданной программе и выгрузки составляет ≤ 60 пл./ч.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/35043
Appears in Collections:№4 (122)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Solodukha_Robotizirovannaya.PDF895,83 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.