https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/35043| Title: | Роботизированная установка быстрой термической обработки для создания изделий электронной техники |
| Other Titles: | Rapid thermal treatment robotics unit for creation of electronic equipment devices |
| Authors: | Солодуха, В. А. Пилипенко, В. А. Яковлев, В. П. |
| Keywords: | доклады БГУИР;камера отжига;длительность импульса;кремниевая пластина;равномерность нагрева |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Солодуха, В. А. Роботизированная установка быстрой термической обработки для создания изделий электронной техники / В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. П. Яковлев // Доклады БГУИР. – 2019. – № 4 (122). – С. 92-97. |
| Abstract: | Приведены конструктивные особенности автоматической установки быстрой термической обработки кремниевых пластин диаметром 100 мм. Для нагрева в установке используются галогенные лампы с вольфрамовой спиралью КГТ 220-2000-3 в количестве 12 штук, которые обеспечивают нагрев пластины до 1200 о С со скоростью набора температуры 10–150 о С/с в течение 0,1−600 с. Предусмотрен процесс отжига как в вакууме, так и в различных газовых средах. Производительность установки с учетом загрузки пластины, создания вакуума в камере, напуска в камеру требуемого газа, термообработки по заданной программе и выгрузки составляет ≤ 60 пл./ч. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/35043 |
| Appears in Collections: | №4 (122) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Solodukha_Robotizirovannaya.PDF | 895.83 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.