Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38957
Title: Изучение морфологии поверхности ультратонких силицидов никеля методом атомно-силовой микроскопии
Authors: Щелкунов, А. В.
Keywords: материалы конференций
морфология поверхности
силицид никеля
атомно-силовая микроскопия
Issue Date: 2012
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Щелкунов, А. В. Изучение морфологии поверхности ультратонких силицидов никеля методом атомно-силовой микроскопии / А. В. Щелкунов // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск : БГУИР, 2012. – С. 106-107.
Abstract: Применение силицида никеля в качестве материала для современной микроэлектронной техники стало возможным благодаря совокупности таких его свойств, как: низкое удельное сопротивление, сравнительно низкая температура образования и др. Важно изучить влияние температуры отжига на морфологию поверхности ультратонких силицидов никеля, чтобы в дальнейшем выработать механизмы увеличения термической стабильности пленки силицида никеля.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38957
Appears in Collections:Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: материалы 48-й научной конференции

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Shchelkunov_Izucheniye.pdf475,96 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.