https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38957| Title: | Изучение морфологии поверхности ультратонких силицидов никеля методом атомно-силовой микроскопии |
| Authors: | Щелкунов, А. В. |
| Keywords: | материалы конференций;морфология поверхности;силицид никеля;атомно-силовая микроскопия |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Щелкунов, А. В. Изучение морфологии поверхности ультратонких силицидов никеля методом атомно-силовой микроскопии / А. В. Щелкунов // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск, 2012. – С. 106–107. |
| Abstract: | Применение силицида никеля в качестве материала для современной микроэлектронной техники стало возможным благодаря совокупности таких его свойств, как: низкое удельное сопротивление, сравнительно низкая температура образования и др. Важно изучить влияние температуры отжига на морфологию поверхности ультратонких силицидов никеля, чтобы в дальнейшем выработать механизмы увеличения термической стабильности пленки силицида никеля. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38957 |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Shchelkunov_Izucheniye.pdf | 475.96 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.