Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8452
Title: Исследование процесса ВЧ магнетронного формирования сегнетоэлектрических пленок и свойств конденсаторных структур на их основе: отчет о НИР (заключ.)
Authors: Завадский, С. М.
Голосов, Д. А.
Keywords: отчеты о НИР
сегнетоэлектрики
танталат стронция-висмута
конденсаторные структуры
элементный состав
стехиометрия
Issue Date: 2013
Publisher: БГУИР
Citation: Исследование процесса ВЧ магнетронного формирования сегнетоэлектрических пленок и свойств конденсаторных структур на их основе(заключительный) : отчет о НИР / БГУИР; научный руководитель С. М. Завадский ; отв. исполнитель Д. А. Голосов . – Минск, 2013. – 45 с. - № ГР 20121590
Series/Report no.: ГБЦ 12-1010Б;
Abstract: Установлены зависимости элементного состава нанесенных пленок от параметров процесса распыления и отжига. Проведена оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок заданного состава методом магнетронного распыления. Исследованы электрофизические свойства конденсаторных структур на основе керамических сегнетоэлектрических тонких пленок.
Gov't Doc #: № ГР 20121590
URI: http://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8452
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8452
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2013

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20121590 (12-1010Б)_Рук_НИР_Завадский.pdf6,69 MBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.