https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8452| Title: | Исследование процесса ВЧ магнетронного формирования сегнетоэлектрических пленок и свойств конденсаторных структур на их основе: отчет о НИР (заключ.) |
| Authors: | Завадский, С. М. Голосов, Д. А. |
| Keywords: | отчеты о НИР;сегнетоэлектрики;танталат стронция-висмута;конденсаторные структуры;элементный состав;стехиометрия |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Исследование процесса ВЧ магнетронного формирования сегнетоэлектрических пленок и свойств конденсаторных структур на их основе(заключительный) : отчет о НИР / БГУИР; научный руководитель С. М. Завадский ; отв. исполнитель Д. А. Голосов . – Минск, 2013. – 45 с. - № ГР 20121590 |
| Series/Report no.: | ГБЦ 12-1010Б; |
| Abstract: | Установлены зависимости элементного состава нанесенных пленок от параметров процесса распыления и отжига. Проведена оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок заданного состава методом магнетронного распыления. Исследованы электрофизические свойства конденсаторных структур на основе керамических сегнетоэлектрических тонких пленок. |
| Gov't Doc #: | № ГР 20121590 |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8452 |
| Appears in Collections: | Отчеты о НИР 2013 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| № ГР 20121590 (12-1010Б)_Рук_НИР_Завадский.pdf Restricted Access | 6.69 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.