Skip navigation

Browsing by Author Демидович, С. А.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 1 to 4 of 4
Issue DateTitleAuthor(s)
2023Исследование возможностей получения устойчивых микроэлектромеханических систем путем управления внутренними механическими напряжениями в нитриде кремнияДемидович, С. А.
2022Исследования электрофизических свойств тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработкиКовальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Демидович, С. А.; Колос, В. В.; Филипеня, В. А.; Шестовский, Д. В.
2024Особенности нанесения пленок SiNx методом ICP CVD в области повышенного давленияДемидович, С. А.; Юник, А. Д.
2024Управление механическими напряжениями в пленках SiNx при осаждении из смеси SiH4-NH3-He в индуктивно-связанной плазмеКовальчук, Н. С.; Демидович, С. А.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.