Browsing by Subject режим наведенного тока
Showing results 1 to 2 of 2
Issue Date | Title | Author(s) |
2018 | Анализ дефектов интегральных схем с использованием растро-вого электронного микроскопа в режиме наведенного тока | Солодуха ., В. А.; Шведов, С. В.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Чигирь, Г. Г.; Пилипенко, В. А.; Филипеня, В. А.; Жигулин, Д. В.; Уситименко, Д. С. |
2020 | Экспресс-контроль элементов интегральных схем с использованием растровой электронной микроскопии и режима наведенного тока | Петлицкий, А. Н.; Жигулин, Д. В.; Ланин, В. Л. |