Browsing by Subject жидкостное травление
Showing results 1 to 2 of 2
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2026 | Синтез пленок нитрида кремния с улучшенными механическими и химическими свойствами методом ICPCVD | Ковальчук, Н. С.; Демидович, С. А.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н. |
| 2019 | Фемтосекундное лазерное скрайбирование сапфира на длинах волн 1040 и 520 нм | Шуленкова, В. А.; Луценко, Е. В.; Данильчик, А. В.; Соловьёв, Я. А.; Петлицкий, А. Н.; Киросирова, М. В. |