Browsing by Subject ионный источник
Showing results 1 to 3 of 3
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2018 | Автоматизируемая система контроля параметров ионного источника для распределения потока заряженных и нейтральных частиц ионно-плазменных систем | Ярмашук, Е. С.; Бурко, С. С. |
| 2016 | Ионный источник на основе торцевого холловского ускорителя для предварительной “мягкой” очистки подложек | Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Xiubo, Tian; Окоджи, Д. Э.; Колос, В. В. |
| 2019 | Моделирование магнитных полей торцевого холловского ускорителя | Шамшуров, П. Ю.; Голосов, А. Д.; Аюпов, В. А. |