Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12455
Title: Ионный источник на основе торцевого холловского ускорителя для предварительной “мягкой” очистки подложек
Authors: Голосов, Д. А.
Завадский, С. М.
Мельников, С. Н.
Xiubo, Tian
Окоджи, Д. Э.
Колос, В. В.
Keywords: публикации ученых;ионный источник;ионная очистка;энергия;ток;ion source;ion cleaning;energy;current
Issue Date: 2016
Publisher: ГГУ им.Ф.Скорины, Беларусь
Citation: Голосов, Д. А. Ионный источник на основе торцевого холловского ускорителя для предварительной “мягкой” очистки подложек / Д. А. Голосов и другие // Материалы IV международной научной конференции «Проблемы взаимодействия излучения с веществом», 9–11 ноября 2016 г.: в 2 частях. Ч. 2. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2016. – С. 35 - 39.
Abstract: Проведены исследования разрядных и эмиссионных характеристик ионного источника для “мягкой” ионной очистки. Установлено, что данный источник обеспечивает низкоэнергетичную ионную бомбардировку с энергией ионов от 30 до 270 эВ при плотности ионного тока до 1,6 мА/см2. Researches of digit and issue characteristics of an ion source for "soft" ion cleaning are conducted. It is established that this source provides low energy ion bombing with energy of ions from 30 to 270 эВ at firmness of ion current to 1,6 ¼Ç/cm2.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12455
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Golosov_Ionniy.PDF650.36 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.