Browsing by Subject составные мишени
Showing results 1 to 2 of 2
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2023 | Влияние способа подачи газов в камеру на процессы реактивного магнетронного распыления Ti-Al составной мишени | Доан, Х. Т.; Голосов, Д. А.; Джанг, Дж.; Кананович, Н. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н. |
| 2023 | Модель процесса реактивного магнетронного распыления двухкомпонентной составной мишени | Доан, Х. Т.; Голосов, Д. А.; Джанг, Дж.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Нгуен, Т. Д. |