Browsing by Subject химическая обработка
Showing results 1 to 3 of 3
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2026 | Исследование особенностей групповой плазмохимической обработки кремниевых пластин при непрерывном режиме генерации СВЧ разряда | Тихон, О. И.; Лушакова, М. С. |
| 2017 | Оборудование и технологии удаления загрязнений с поверхности кремниевых пластин | Баранов, В. В.; Скопцов, А. М.; Врабий, Э. М.; Шахлевич, Г. М. |
| 1985 | Раствор для избирательного травления меди | Курмашев, В. И.; Грицай, С. П.; Гурский, М. С.; Тучковский, А. К.; Рябов, Л. П. |
