Browsing by Subject ICP CVD
Showing results 1 to 2 of 2
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2019 | Properties of Nitrogen/Silicon Doped Vertically Oriented Graphene Produced by ICP CVD Roll-to-Roll Technology | Rozel, P.; Radziuk, D. V.; Mikhnavets, L. A.; Khakhlov, E. A.; Shiripov, V.; Matolínová, I.; Matolin, V.; Basaev, A. S.; Kargin, N. I.; Labunov, V. A. |
| 2026 | Влияние параметров ICP CVD осаждения диэлектриков на токи утечки в AlGaN/GaN HEMT | Демидович, С. А.; Михеенко, А. В.; Кукуть, Ю. М.; Ковальчук, Н. С. |