Browsing by Subject MEMS
Showing results 1 to 7 of 7
Issue Date | Title | Author(s) |
2019 | Applications of UV-LIGA and grayscale lithography for display technologies | Timoshkov, I. V.; Khanko, V. T.; Kurmashev, V. I.; Grapov, D. V.; Kostevich, A. A.; Govor, G. A.; Vetcher, A. K. |
2013 | Electrochemical codeposition of nanostructured materials for highly reliable systems | Timoshkov, I.; Kurmashev, V.; Timoshkov, V.; Sakova, A. |
2017 | Mechanical properties of MEMS components based on anodic aluminum oxide | Biran, S. A.; Korotkevich, D. A.; Korotkevich, A. V. |
2013 | RF MEMS Oscillator Design For integration with SOC Using Order Reduction Methods | El-Zoghbi, R. А. |
2014 | Инновационные микроробототехнические системы | Зарецкая, А. С. |
2023 | Исследование частотных характеристик сигналов MEMS-акселерометра при различных режимах работы прибора в состоянии покоя | Ващилов, А. Д. |
2018 | Обобщенный метод автоматизированного проектирования технологических процессов изготовления микроэлектромеханических акселерометров | Невлюдов, И. Ш.; Хрусталев, К. Л.; Бортникова, В. О. |