Skip navigation

Просмотр собрания по группе - Авторы Solodukha, V. A.

Перейти к: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Результаты 1 по 3 из 3
Дата публикацииНазваниеАвтор(ы)
2017Depth Measurement of Nanoscale Damage to the Surface of Silicon Wafers in the Production of Submicron Integrated Microcircuits by Auger Spectroscopy MethodSolodukha, V. A.; Shvedov, S. V.; Chyhir, R. R.; Petlitsky, A. N.
2017Depth Measurement of the Nano-dimensional Surface Damages of the Silicon Wafers in Production of the Submicron Integrated CircuitsSolodukha, V. A.; Shvedov, S. V.; Chyhir, R. R.; Petlitsky, A. N.; Petlitskaya, T. V.
2017Reliability Assessment of the Nano-dimensional Dielectrics of the Submicron MicrocircuitsSolodukha, V. A.; Shvedov, S. V.; Chyhir, R. R.; Petlitsky, A. N.; Filipenya, V. A.