Skip navigation

Browsing by Author Коробко, Ю. О.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
or enter first few letters:  
Showing results 1 to 2 of 2
Issue DateTitleAuthor(s)
2004Особенности применения проекционной фотолитографии при производстве силовых биполярных интегральных микросхемКоробко, Ю. О.; Достанко, А. П.; Турцевич, А. С.
2005Формирование субмикронных кмоп структур с повышенной точностью критических размеров методами проекционной фотолитографииКоробко, Ю. О.