Skip navigation

Browsing by Author Кухаренко, С. Н.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 1 to 1 of 1
Issue DateTitleAuthor(s)
2006Алгоритм численного моделирования оптической литографии и его применение для верификации топологий интегральных схем микродисплеевКухаренко, С. Н.; Волк, С. В.; Заяц, А. М.; Смирнов, А. Г.