https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31026| Title: | Алгоритм численного моделирования оптической литографии и его применение для верификации топологий интегральных схем микродисплеев |
| Other Titles: | A numeric algorithm of optical lithography modeling and its application for lcos layout physical verification |
| Authors: | Кухаренко, С. Н. Волк, С. В. Заяц, А. М. Смирнов, А. Г. |
| Keywords: | доклады БГУИР;численное моделирование;изготовление СБИС;оптическая литография;верификация топологий |
| Issue Date: | 2006 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Алгоритм численного моделирования оптической литографии и его применение для верификации топологий интегральных схем микродисплеев / С. Н. Кухаренко и другие // Доклады БГУИР. - 2006. - № 2 (14). - С. 103 - 108. |
| Abstract: | Представлен алгоритм численного моделирования процесса литографии, применяющегося при производстве интегральных схем (ИС) микродисплеев. Он основан на использовании метода интегрирования по источнику для вычисления изображения, получающегося на подложке. Затем описан метод верификации топологий, использующий результаты такого численного моделирования. Предложенный метод верификации учитывает отклонения контуров изготовленных элементов от контуров, предсказанных моделью вследствие колебания параметров литографии, что позволяет значительно повысить качество верификации. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31026 |
| Appears in Collections: | №2 (14) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Koukharenko_A.pdf | 550.09 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.