Browsing by Author Мацкевич, А. И.
Showing results 1 to 3 of 3
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2018 | Междучиповые оптические межсоединения на основе светодиодов из наноструктурированного кремния и оптического интерпозера из микроканальной кремниевой пластины | Лазарук, С. К.; Лешок, А. А.; Ле Динь Ви; Мацкевич, А. И.; Хиневич, А. С.; Черных, А. Г. |
| 2018 | Перспективы использования светодиодов из наноструктурированного кремния как источников единичных фотонов | Лазарук, С. К.; Лешок, А. А.; Ле Динь Ви; Мацкевич, А. И.; Хиневич, А. С.; Черных, А. Г. |
| 2016 | Формирование глубоких (сквозных) отверстий в Si-подложках для объемных микросборок ИС | Мацкевич, А. И. |
